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顯微鏡
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9J光切法顯微鏡具有相同頻率及振動方向和恒定相位差的光線，在空間疊加會發生干涉現象，這就是光波的干涉原理。利用光波的干涉原理和顯微鏡非接觸檢測特點對試樣表面上高度極微小差別進行測量。
測量顯微鏡利用直角座標中測定長度，例如測定孔距，基面距離，刻線距離，刻線寬度，鍵槽寬度，狹縫寬度，通孔外圓直徑等等。
數顯多功能測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量，適用于汽車零部件、電子行業,超精密機械加工。
小型工具顯微鏡直角座標中測定長度，例如測定孔距、基面距離、刻線距離、刻線寬度、鍵槽寬度，狹縫寬度、通孔外圓直徑等等。
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